上交大研制出高速硅基微环电光调制器，其调制速率高达30Gbps

该研究在提高光电器件性能的基础上降低器件的功耗，其功耗只有100 fJ bit。

通信领域，三大关键要素之一就是调制，它主要就是对信号源的信息进行处理使其适合于信道传输。现在出于对信号传输速度的要求，电信号已经远远不能满足，行业内多开始对光信号的调制和传输进行研究。

电光调制器

目前，在信号调制器的选择上，电光调制器是光通讯学术界和产业界普遍关注的热点。近日，上海交通大学研究团队基于先进电子材料与器件（AEMD）平台设备和加工条件，成功研制出了高速硅基微环电光调制器，最高调制速率达30Gbps。

硅是微电子器件制造应用中最广泛的材料，硅集成电路的应用改变了当代世界的面貌，也改变了人们的生活方式。但是，一般硅集成电路只限于处理电信号，对光信号的处理显得无能为力。硅基光电子器件因工艺与传统CMOS工艺兼容，可实现低成本的光电子器件大规模集成，因而成为研究热点。

此次，上交大研制出的调制器采用了220nm硅基脊形波导的微环谐振腔，加工工艺涉及电子束直写光刻、离子注入、等离子增强化学气相沉积、反应离子刻蚀以及多靶磁控溅射等多步微纳加工工艺技术。

除了紧凑的外形，研究人员还通过在微环波导上嵌入PN结，实现了载流子耗尽型高速微环电光调制器。实验中，研究人员通过计算得到，该器件的交流功耗在100 fJ/bit左右，比现有常见电光调制器的功耗水平低一个数量级。

不同调制速率下的眼图

此次硅基微环电光调制器流片（流水线芯片）的研制成功为我国低功耗、紧凑电光调制器的研究提供了有力的支撑。

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